<アプリケーション紹介>マニピュレーター・プローバー

ナノデバイスを測る・操る

マイクロマニピュレータ/プロ―バーシャトルは既存の電子顕微鏡(SEM/FIB)、光学顕微鏡を簡単にアップグレードできます。
サンプルを「観る」ことが主体の顕微鏡に、「測る」「操る」といった機能を付加し、顕微鏡をミクロの作業場として利用することが可能になります。
ミクロ~ナノ領域での超精密操作・高い位置決め精度によりナノテクノロジー分野の研究開発をサポートします。

 

 

マニピュレーション

SEM内で様々なマイクロ構造、ナノ構造をマニピュレーションした例

 

   

動画内で使用している製品

 マイクロマニピュレータMM3A-EM

 Plug-inツール マイクログリッパー

 電子線硬化接着剤 SEMGLU

 

EBIC,RCI(EBAC)

EBIC(電子線誘起電流)は、半導体の故障を検出するためのナノプローブ解析技術です。
EBICならびにRCI(吸収電流像)、EBAC、EBIV、およびEBIRCHのような関連する方法は、電子ビームを用いて試料内部の信号を生成し、その後信号を画像化の目的で増幅します。

 

   

動画内で使用している製品

 マイクロマニピュレータMM3A-EM

 Plug-inツール 微小電流測定キット

 

 

in-situ AFM

原子間力顕微鏡(AFM)と走査型電子顕微鏡(SEM)の組み合わせにより、新たな可能性が広がります。
SEMの内部で、コンパクトでフレキシブルなAFMを使用することにより、SEM観察により得られる二次元方向の寸法および材料に関する情報を、凹凸情報、力情報によって補完することができます。

 

   

動画内で使用している製品

 SuperFlat AFM

 

製品に関してのお問い合わせ
弊社では、各製品のカタログや資料をご用意しております。
デモ機在庫の有る製品も御座いますので、不明な点や価格的なご質問と共にお問い合わせよりご連絡下さい。
現在お客様の方で考えられているご使用目的、必要スペック、PC環境等を合わせてご連絡頂ければ該当する商品担当者よりご提案させて頂きます。 (お探しの商品が見付からない場合はお気軽にお問い合わせ下さい。)