<アプリケーション紹介>コーティング装置

電子顕微鏡 前処理

 

 

 SEM観察 導電処理

生物試料のような絶縁物試料をSEMで観察しようとすると、チャージアップ(帯電現象)が起こり、正しい像を観察できないことがあります。
帯電防止のためにコーティングを行う場合、一般的には導電性に優れたAuが使用されますが、粒径が大きいため高分解能の観察には不向きです。
粒径の細かさからPtが使用されることもありますが、低真空仕様のスパッタコーターではAuと比較してコーティングレートが遅く、ターゲットも高価です。


高真空仕様スパッタコーターでは、導電性コーティングのためにCrやIrを選択できます。
適正条件で製膜されたCrの粒径はPtよりも細かく、またターゲットが安価のためFE-SEM観察に最適です。
しかし酸化しやすいため、試料の大気保管ができず、コーティング後はすぐに観察する必要があります。
IrはCrと同等以下の粒径で酸化もしないため、同じく高分解能観察向けに推奨されますが、ターゲットは高価になります。

 

▼Q150TSを使用してシリコンウェハ上にスパッタされた膜の比較
(膜厚:50nm ESEM 30kV 250,000xで撮影)
q150_au50nm q150_pt50nm
q150_cr50nm q150_ir50nm
ご提供:ロンドン大学薬学部

 

また、低真空SEMでは未コーティングの試料をチャージアップなしで観察することができますが、コーティングを行い高真空中で観察する二次電子像と比較すると、立体感に欠けた画像になる場合があります。

 

▼乾燥させて撮像したアカイエカ(Culex pipiens s.l.)

未コーティング、低真空モードで観察
mosquito_lowvac_uncoated_small
Q150Rスパッタコーターを用いて金コーティング
mosquito_coated-with-au_small

【画像クリックで拡大】

ご提供:エッジ・ヒル大学

 

 X線分析 導電処理

EPMAやEDS,WDSでの元素分析の試料前処理において、AuやPtのような重い元素をコーティングすると、見たい元素のピークを隠し、分析の邪魔になってしまう場合があります。
そのため、一般的には原子番号の小さいカーボンの蒸着が、導電処理として行われます。

 

 

 試料保護膜

数十~数百nmの厚膜をコーティングすることで、FIBやアトムプローブなどの用途における試料への熱ダメージを低減します。

 

 

電極作成

電子顕微鏡関連の試料前処理用途以外にも、実験レベルでの薄膜や電極の作成にも適しています。
Q300TDでは2元のターゲットを装着可能で、真空を保持したまま異なる2種類のターゲットを最大5層まで連続して成膜することができます。

 

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