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EBIC, RCIアンプモジュール (EBIC-RCI)

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 EBIC像(Electron Beam Induced Current:電子線誘起電流)やRCI(Resistive Contrast Image:吸収電流像)を得るためのアンプモジュールです。EBIC像,RCI像の取得には、2台のマニピュレータと1台の微小電流測定キット(LCMK)との組合せが必要です。誘起電流または吸収電流は、マニピュレータが保持したLCMKを経由してアンプモジュールに入力されます。アンプモジュールはSEMの外部入力端子に接続され、SEMのディスプレイ上にEBIC像またはRCI像を表示します。
 EBIC像ではp-n接合の可視化や、試料の結晶欠陥の観察が可能です。RCI像では回路内のオープン箇所の特定などに有効です。

 

 

 

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