<FAQよくあるご質問>コーティング装置

SEM観察において試料にスパッタを行うメリットは何ですか?
下記のメリットがございます。

・ 絶縁物試料のチャージアップ(帯電)を防止する。
・ 電子線による熱ダメージを低減する。
・ 二次電子の放出率を高める。
・ 簡単*に高分解像が得られる。 アプリケーション紹介ページで比較をご覧いただけます。

*低真空SEMで無コーティング観察した場合との比較

 

 

高真空(ターボ分子ポンプ内蔵)モデルのコーティング装置のメリットは何ですか?
低真空タイプと比較して、下記のメリットがございます。

・ 貴金属だけでなく酸化するターゲットのコーティングが可能。
・ コーティングプロセスにかかる時間の短縮。
・ 高品質な成膜が可能。
機能と特長の詳細はこちら。

 

 

Q300TTはトリプルターゲットとありますが、3種類のターゲットを装着できるのですか?
いいえ。Q300TTは同じ種類のターゲットを3枚装着することで、最大8inchサイズまで大型試料のスパッタに対応した装置です。
3元でのスパッタはできませんのでご留意ください。
Q300TDでは、2種類の異なるターゲットを装着しての連続スパッタが可能です。Q300TDの場合、試料サイズはφ6inchまでとなります。

 

 

製品に関してのお問い合わせ
弊社では、各製品のカタログや資料をご用意しております。
デモ機在庫の有る製品も御座いますので、不明な点や価格的なご質問と共にお問い合わせよりご連絡下さい。
現在お客様の方で考えられているご使用目的、必要スペック、PC環境等を合わせてご連絡頂ければ該当する商品担当者よりご提案させて頂きます。 (お探しの商品が見付からない場合はお気軽にお問い合わせ下さい。)