サブステージ LTシリーズ

LTシリーズは高真空環境に対応した超小型精密位置決めステージです。最小33mm角と非常に小型で、電子顕微鏡(SEM/FIB)を始め、各種真空装置、低温装置など狭スペースへの設置が可能で、既存のモーターステージの上に乗せることでステージのアップグレードします。駆動原理にピエゾ素子を用いており、非常に精密かつスムースな動作でサンプルの位置決めを行えます。広い動作範囲(最大30cm)と非常に細かい動作分解能(最小0.25nm)を併せ持ち、観察倍率に合わせて動作スピード(分解能)を切換えながら操作します。ラインナップは、サイズ・可動範囲・エンコーダーの有無によって区別されます。

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