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微小電流測定キット(LCMK)

kle_lcmk-2  「微小電流測定キット」(LCMK)は、マニピュレータの先端に取付けられるPlug-inツールのひとつです。「マイクロマニピュレータ」(MM3A-EM)単体でもプロービングが可能ですが、LCMKは信号ラインをMM3A-EM駆動用のラインと分離し、かつTriaxケーブルを用いることで、内部抵抗やノイズを改善し、より高感度な測定を可能にします。
(電流検出限界 MM3A-EM単体=10nA ⇔ LCMK=1pA)
「Prober Shuttle」(PS4)には、LCMKが標準組込みされています。

 

 【アプリケーション】

 ● プロービング(微小電流・容量測定)

 ● EBIC(Electron Beam Induced Current)

 ● RCI (Resistive Contrast Image:吸収電流像)

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ナノプロービング EBIC  
    

 

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