LT12830シリーズ

kle_lt12830_200
◆LTシリーズ最高精度
◆可動範囲 30mm
◆動作軸 [XY]
◆ダブルエンコーダー(クローズループ)
◆繰返し精度 50nm
◆CAD Navi, リソフラフィー用
 サイズ  XYモデル:128 x 128 x 15mm
 可動範囲  X = 30 mm、Y = 30 mm
 分解能  XYZ = 0.5 nm
 繰返し精度  50 nm

 

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