LT3310シリーズ

kle_lt3310_200
◆LTシリーズ最小サイズ
◆可動範囲 10mm
◆動作軸 [XY / XYZ / XYR]
◆回転軸有り
◆エンコーダー無し(オープンループ)
◆超高真空(UHV)、低温モデル有り
◆半導体セルカウンティング
 サイズ  ・XYモデル:33 x 33 x 11.6 mm
 ・XYZモデル:33 x 33 x 30 mm + 7 mm駆動
 ・XYRモデル:33 x 33 x 16.6 mm
 可動範囲  X = 10 mm、Y = 10 mm、Z = 7 mm、R = 360°
 分解能  XYZ = 0.25 nm、R = 10-7 rad
 エンコーダー  無し

 

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