LT6620シリーズ

kle_lt6620_200
◆可動範囲 20mm
◆動作軸 [XY / XYZ ]
◆エンコーダー無し(オープンループ)
◆超高真空(UHV)、低温モデル有り
 サイズ  ・XYモデル:56 x 66 x 26mm
 ・XYZモデル:66 x 66 x 50mm + 15 mm駆動
 可動範囲  X = 20 mm、Y = 20 mm、Z = 15 mm
 分解能  XYZ = 0.5 nm
 エンコーダー  無し

 

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