LT6820シリーズ

kle_lt6820_200
◆可動範囲 20mm
◆動作軸 [XY / XYZ]
◆エンコーダー有り(クローズループ)
◆繰返し精度 100nm
◆超高真空(UHV)モデル有り

 サイズ  ・XYモデル:68 x 68 x 26mm
 ・XYZモデル:66 x 66 x 50mm + 15 mm駆動
 可動範囲  X = 20 mm、Y = 20 mm、Z = 15 mm
 分解能  XYZ = 0.5 nm
 繰返し精度  100 nm

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