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マイクロ4端子プローブ(M4PP)

kle_m4pp-2  「マイクロ4端子プローブ」(M4PP)は、マニピュレータの先端に取付けられるPlug-inツールのひとつで、マイクロ領域での4端子測定を行います。通常、マニピュレータ1台=1端子となりますが、M4PPと組合わせることで、1台のマニピュレータで4端子測定が行えます。
 M4PPは「マイクロ4端子プローブチップ」、「M4PP用プラグインホルダ」、「計測制御コントローラ」、「ソフトウェア」から構成されます。(計測制御コントローラおよびソフトウェアを除いた構成も可能です。)
 SEM観察をしながらマニピュレータを操作し、M4PP先端を試料に接触させ4端子測定を行います。SEM内で高倍率観察できることから、局所領域にプローブを接触させることが可能です。マニピュレータの微細な動作と、プローブチップのカンチレバー構造により、試料表面へのコンタクト時に、プローブにダメージを与えることなく接触できます。
 4端子プローブチップには、多種のピッチ間隔があります。(5/10/15/20/25/30μm)

 

 

 【アプリケーション】

 ● シート抵抗測定

 ● 表面・薄膜の電気伝導測定

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 プロービング    

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