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マイクログリッパー(MGS2)

kle_mgs2_1  「マイクログリッパー」(MGS2-EM)は、マニピュレータの先端に取付けられるPlug-inツールのひとつです。マイクロサイズの試料を摘み、移動・引張り・組立てなどを可能にします。試料の形状にもよりますが、サブμm~20μm程度の試料に適しています。
グリッパーの2本のアームはタングステン針からなり、先端が面接触になるようにFIBで加工されています。用途に合ったカスタムシェイプも可能です。
 開閉制御にはピエゾが用いられ、開閉のステップ分解能は20nmと非常に細かいため、繊細な試料への接触ができます。また最大で5000μNの高保持力を有します。
グリッパーは1本のプローブ針と見なすこともできます。一例として、2台のマニピュレータそれぞれにグリッパーを付け、ナノワイヤーの両端を掴み、2点間の抵抗値測定などが行えます。

 

 【アプリケーション】

 ● マニピュレーション

 ● FIB法 TEM 試料のリフトアウト

 ● プロービング

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 ナノマニピュレーション TEM試料のリフトアウト ナノプロービング
    

 

 

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