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マイクロインジェクター (MIS)

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 「マイクロインジェクター」(MIS)は、マニピュレータのPlug-inツールのひとつで、低真空SEM内で、試料に液体やガスを注入します。
MISはマニピュレータの先端に取付けられる「マイクロバルブ」と「コントローラ」から構成されます。試料室内のマイクロバルブが開くと、試料室外に設置された液体は、気圧差で試料室内に引き込まれます。マイクロバルブの開閉はコントローラで制御されます。

※マイクロインジェクションを行う場合、液体の飽和水蒸気圧と照らし合わせて行う必要があります。一般に、環境制御型SEM(ESEM)と冷却ステージが必要です。

 

 

 

 【アプリケーション】

 ● 食品、繊維、生理学、製薬、建材、冶金

     
     
    

 

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