MM3A-EM / Shuttleシステム(Prober Shuttle, Lift-out Shuttle)

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 「MM3A-EM」および「Shuttleシステム」は既存のSEM/FIBの試料室へ設置されます。装置本体が非常にコンパクトで、あらゆる汎用SEMに取付けが可能です。取付けの際にSEMの改造は必要ありません。広い動作範囲と非常に細かい動作分解能(サブナノ)を併せ持ち、観察倍率に合わせて動作スピード(分解能)を切換えながら操作することで、低倍率~高倍率での使用が可能です。SEM(SIM)像をライブ観察しながら、自在にマニピュレータを制御できます。

取付けるSEMや使用目的に応じて、「MM3A-EM」と「Shuttleシステム」の選択が可能です。
 
 【MM3A-EM】
非常に小型なため、取付けるSEMやアプリケーション,サンプルのサイズや形状に応じて、フレキシブルな取付けが可能です。Plug-inツールやAdd-onツールも豊富で拡張性があります。大学や研究所など、多目的用途でのR&Dや実験に向きます。
 
 【Shuttleシステム】
● 多くのFE-SEMで採用されているロードロックに対応可能で、試料交換室経由で本体の着脱をするため、試料室を開放する必要がなくなります。
● 特定のアプリケーションに特化しています。
● 複数台のマニピュレータを1台のユニットにまとめることでコンパクトになり、特にユニット全体の厚みが薄いため、 短いワーキングディスタンスに対応可能です。

 

製品に関してのお問い合わせ
弊社では、各製品のカタログや資料をご用意しております。
デモ機在庫の有る製品も御座いますので、不明な点や価格的なご質問と共にお問い合わせよりご連絡下さい。
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