マイクロマニピュレータ MM3A-EM

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マイクロマニピュレータ MM3A-EMは既存のSEM/FIBに更なる拡張性をもたらします。
装置本体が非常にコンパクトで、あらゆる汎用SEMの試料室内取付けが可能です。取付けの際にSEMの改造は必要ありません。
広い動作範囲と非常に細かい動作分解能(サブナノ)を併せ持ち、観察倍率に合わせて動作スピード(分解能)を切換えながら操作することで、低倍率~高倍率での使用が可能です。SEM(SIM)像をライブ観察しながら、自在にマニピュレータを制御できます。
標準でプロービング機能を持ち、付属のコントローラーと測定機を接続してご利用頂けます。
また、様々な分野のアプリケーションに対応したプラグインオプションも充実しています。

 

サブナノ動作分解能+広い動作範囲

ピエゾ素子を駆動原理とし、分解能0.25nmを実現します(Z軸最小動作時)。微動モード(nm動作分解能)と粗動モード(長距離移動用)を切り替えることで、ナノスケールの超微細動作を広い領域で行えます。

 

 

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X軸(左右)   Y軸(上下)   Z軸(伸縮)

 

 

コンパクト設計

シンプルで洗練されたデザインは、顕微鏡への取付けに融通性を持たせます。マニピュレータの脱着は簡単に行えるので、共有装置にも必要な時だけ取付けて使用することが出来ます。

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すぐれた安全性

コンパクトな設計により、優れた安定性を持ち、耐振性能にも効果を発揮します。ドリフト性能はわずか1nm/minと抜群の保持性能があります。電気特性評価や長時間レコーティング、マニピュレーションにおいても高い成功率を得られます。

 

 

フレキシブルな取付け

各社SEM / FIBに対応するため、様々なアダプタを取り揃えています。
(アダプタは取付ける機種や操作性によって異なりますので、詳細はお問合わせください。)

 

・ ユニバーサルマウント/ブリッジマウント/ルーフマウント/ドアマウント

 

 

かんたん操作

ディスプレイ上のSEM画像を見ながら、コントロールボックスやジョイパッドで、感覚的なマニュアル制御が行えます。

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シンプルな構成と接続

以下の構成から成ります。

 

 1)マニピュレータ 本体

 2)コントロールボックス

 3)電源ボックス

 4)ジョイパッド

 5)真空導入端子ケーブル / コネクタ

 6)分岐ボックス (MM3Aが2台以上の時)

 7)ソフトウェア

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MM3A 先端部

先端にφ2mm深さ5mmの穴があり、プローブ針保持したチップホルダーを差込ます。標準で先端R100mmのサンプルプローブ(5本)が付属します。ホルダーを変えることで、ガラスピペットや自作ツールなどを保持することも可能です。(3g 程度まで)

 

また用途に応じて様々なプラグインツールを追加出来ます。

→詳細へ

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プロービング機能

MM3A-EMはプローバーとしての機能を併せ持ちます。スムーズな動作、サブナノ分解能により、ナノデバイスやナノチューブなどの微小サンプルに直接プローブを接触させます。また、低ドリフト性能は測定の成功率を高めます。

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製品動画

 

 

● 関連製品


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