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プラズマクリーナー(有機系コンタミネーション予防&除去ツール)

電子線を用いた「表面観察/分析装置」「加工/描画装置」、「真空製膜装置」でのコンタミネーション※を低減し、装置性能を最大限に引き出します。

 

※本装置における「コンタミネーション」は電子線照射により真空チャンバー内の残留ガス分子(炭化水素)が試料などの表面で重合して堆積される汚染膜を意図します。残留異物や微粒子(ほこり)を指すものではありません。

 

装置概要・原理と基本性能へ

 

 

リモートプラズマクリーナー

em-kleen_on_sem

分離されたプラズマソースとコントローラで構成され、 ソースはFE-SEM やXPS、EPMA などの試料チャンバーもしくは試料交換室などに接続されます。
接続された試料チャンバーやチャンバー内の試料をプラズマクリーニングすることで、 高真空装置におけるカーボン系コンタミネーションを予防・除去します。

EM-KLEEN

アプリケーション例

pie_em-kleen_app1
長時間スキャン(10分間)により発生したコンタミを SEMチャンバーのクリーニングにより除去

 

 

卓上型プラズマクリーナー

tergeo-em

ラボ向けAll in one マルチユース対応。Dualプラズマソース内蔵で、 試料や目的に応じて「ソフトクリーニング」 「高速・ハードクリーニング」の2つのモードが選択できます。
分析試料やTEM用カーボン支持膜のPreクリーニング(コンタミ予防)から、 濃厚なコンタミネーションの積極的な除去クリーニングまで、1台で様々なニーズに対応します。

Tergeo-EM

 

アプリケーション例

 

pie_tergeo_app1
酸素プラズマ洗浄によりアルミニウム表面の有機汚染物質を除去

 

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 ▶ PIEプラズマクリーナー

 

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