PP3004　QuickLok

Airlockトランスファーユニット

　常温下でSEM、FIB/SEM、ビームラインや真空装置に試料を搬送するのに適した装置です。

　QuickLokは大気に敏感な試料を真空下で搬送可能です。トランスファーデバイスは密封が可能で、不活性ガスグローブボックスやさまざまな真空プラットフォームに使用可能な大気非暴露タイプの試料トランスファーユニットです。

　●真空や不活性ガス雰囲気下で試料をトランスファー

　●市販のSEMやFIB、グラオーブボックス、

　　ビームライン装置などさまざまな装置にレトロフィット

　●PP3006へのアップグレードが可

　※新しいウィンドウが開きます

　▶　PP3004 QuickLok

　QuickLokはローディングチャンバー本体とポンプ、ベント、搬送システムからなります。これには、カスタムデザインの真空装置へのインターフェースフランジも含まれます（排気装置参照）。

　コンパクトな真空搬送用トランスファーデバイスはバヨネットタイプシャフトで試料ホルダー（シャトル）が簡単に脱着できます。標準のシャトル以外にm所、オプションの試料ホルダーを取付けられます。QuickLokの内側にあるインターロックと連動したLED照明で試料交換を容易にします。

　試料を適したシャトルにセットしトランスファーデバイスに取り付けます。トランスファーデバイスをAirlockにアタッチして内部を排気します。ゲートバルブを開け試料をSEMステージに移動します。他の真空装置やグローブボックスから搬送用にオプションでインターフェースフランジの追加も可能です。

　Quicklok用排気システムとしてロータリーポンプまたはオイルフリーポンプ、ターボ分子ポンプが必要です。

・Airlockアセンブリー（ポンプ、ベント、搬送制御、ゲートバルブ）

・真空ポンプへの接続用カスタムデザインフランジ

・シャトル用SEM側ステージ

・LEDチャンバーライト（インターロック付）

・真空装置、不活性ガス対応衣装搬送用トランスファーデバイス

【試料ホルダー】

・保持クリップ付試料シャトル

・試料シャトル（ブランク）

・試料シャトル（Φ10mm試料スタブ用）

・Φ10mmブランクスタブ

【排気装置】

排気装置としてロータリーポンプ／オイルフリーポンプ、ターボ分子ポンプステーション（推奨）が必要です

・Pfeiffer Duo6：5m³/hrオイルミストフィルタ付ロータリーポンプ

・Pfeiffer HiCube 80：ターボ分子ポンプおよびダイヤフラムポンプ