PP3004 QuickLok

 

Airlockトランスファーユニット

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 常温下でSEM、FIB/SEM、ビームラインや真空装置に試料を搬送するのに適した装置です。

 QuickLokは大気に敏感な試料を真空下で搬送可能です。トランスファーデバイスは密封が可能で、不活性ガスグローブボックスやさまざまな真空プラットフォームに使用可能な大気非暴露タイプの試料トランスファーユニットです。

 ●真空や不活性ガス雰囲気下で試料をトランスファー

 ●市販のSEMやFIB、グラオーブボックス、

  ビームライン装置などさまざまな装置にレトロフィット

 ●PP3006へのアップグレードが可

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システム構成

 QuickLokはローディングチャンバー本体とポンプ、ベント、搬送システムからなります。これには、カスタムデザインの真空装置へのインターフェースフランジも含まれます(排気装置参照)。

 コンパクトな真空搬送用トランスファーデバイスはバヨネットタイプシャフトで試料ホルダー(シャトル)が簡単に脱着できます。標準のシャトル以外にm所、オプションの試料ホルダーを取付けられます。QuickLokの内側にあるインターロックと連動したLED照明で試料交換を容易にします。

 
QuickLokの使用方法

 試料を適したシャトルにセットしトランスファーデバイスに取り付けます。トランスファーデバイスをAirlockにアタッチして内部を排気します。ゲートバルブを開け試料をSEMステージに移動します。他の真空装置やグローブボックスから搬送用にオプションでインターフェースフランジの追加も可能です。

 
排気について

 Quicklok用排気システムとしてロータリーポンプまたはオイルフリーポンプ、ターボ分子ポンプが必要です。

 
■主な仕様

・Airlockアセンブリー(ポンプ、ベント、搬送制御、ゲートバルブ)

・真空ポンプへの接続用カスタムデザインフランジ

・シャトル用SEM側ステージ

・LEDチャンバーライト(インターロック付)

・真空装置、不活性ガス対応衣装搬送用トランスファーデバイス

 

【試料ホルダー】

・保持クリップ付試料シャトル

・試料シャトル(ブランク)

・試料シャトル(Φ10mm試料スタブ用)

・Φ10mmブランクスタブ

 

【排気装置】

排気装置としてロータリーポンプ/オイルフリーポンプ、ターボ分子ポンプステーション(推奨)が必要です

・Pfeiffer Duo6:5m3/hrオイルミストフィルタ付ロータリーポンプ

・Pfeiffer HiCube 80:ターボ分子ポンプおよびダイヤフラムポンプ

 

 

 

製品に関してのお問い合わせ
弊社では、各製品のカタログや資料をご用意しております。
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