
Airlockトランスファーユニット |
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常温下でSEM、FIB/SEM、ビームラインや真空装置に試料を搬送するのに適した装置です。 QuickLokは大気に敏感な試料を真空下で搬送可能です。トランスファーデバイスは密封が可能で、不活性ガスグローブボックスやさまざまな真空プラットフォームに使用可能な大気非暴露タイプの試料トランスファーユニットです。 |
●真空や不活性ガス雰囲気下で試料をトランスファー ●市販のSEMやFIB、グラオーブボックス、 ビームライン装置などさまざまな装置にレトロフィット ●PP3006へのアップグレードが可 |
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■システム構成 | |
QuickLokはローディングチャンバー本体とポンプ、ベント、搬送システムからなります。これには、カスタムデザインの真空装置へのインターフェースフランジも含まれます(排気装置参照)。 コンパクトな真空搬送用トランスファーデバイスはバヨネットタイプシャフトで試料ホルダー(シャトル)が簡単に脱着できます。標準のシャトル以外にm所、オプションの試料ホルダーを取付けられます。QuickLokの内側にあるインターロックと連動したLED照明で試料交換を容易にします。 |
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■QuickLokの使用方法 | |
試料を適したシャトルにセットしトランスファーデバイスに取り付けます。トランスファーデバイスをAirlockにアタッチして内部を排気します。ゲートバルブを開け試料をSEMステージに移動します。他の真空装置やグローブボックスから搬送用にオプションでインターフェースフランジの追加も可能です。 |
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■排気について | |
Quicklok用排気システムとしてロータリーポンプまたはオイルフリーポンプ、ターボ分子ポンプが必要です。 |
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■主な仕様 | |
・Airlockアセンブリー(ポンプ、ベント、搬送制御、ゲートバルブ) ・真空ポンプへの接続用カスタムデザインフランジ ・シャトル用SEM側ステージ ・LEDチャンバーライト(インターロック付) ・真空装置、不活性ガス対応衣装搬送用トランスファーデバイス |
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【試料ホルダー】 ・保持クリップ付試料シャトル ・試料シャトル(ブランク) ・試料シャトル(Φ10mm試料スタブ用) ・Φ10mmブランクスタブ |
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【排気装置】 排気装置としてロータリーポンプ/オイルフリーポンプ、ターボ分子ポンプステーション(推奨)が必要です ・Pfeiffer Duo6:5m3/hrオイルミストフィルタ付ロータリーポンプ ・Pfeiffer HiCube 80:ターボ分子ポンプおよびダイヤフラムポンプ |