PP3010T

特長や概要  |  構成説明  |  仕 様  |  オプション
特長 quorum_pp3010t_004

 ・15inchタッチパネルPCによる簡単操作、オート制御

 ・液体窒素による低温窒素ガス循環冷却方式

 ・良好な熱応答性により最大-190℃まで冷却

 ・高度なマスフローコントロールと優れた

  温度安定性(typ.0.5℃以下)

 ・視認性の良いプレパレーションチャンバー

  (試料前処理室)

 ・offカラム型(床置き)大容量液体窒素デュワーにより

  長時間の連続運転が可能

 ・Slice&Viewによる3D構築に最適

 ・ステージバイアスモードに対応(up to 5kV)

 

基本構成
 ・プレパレーションチャンバー(試料前処理室)

 

 ・クライオトランスファーデバイス

 ・冷却ステージ

 ・冷却トラップ(アンチコンタミネーター)

 ・Prepdekワークステーション

 ・CHE3010ガス冷却システム

 

概要

 

 PP3010TはSEM、FEM-SEMおよびFIB/SEMに適したカラム取付けタイプのガス冷却クライオシステムです。

 最新のクライオSEM技術の採用により設定が簡単になったPP3010TはPrepdekワークステーションに取付けられているタッチスクリーンから直感的に行うことができ、より使いやすくなりました。

 また、システムの視認性を大幅に向上しました。プレパレーションチャンバー(試料前処理室)には大きなフロントビューポートと小型ビューポート(x2個)に加え、LED照明を配置しました。更にCCDカメラをプレパレーションチャンバーに設置し、カメラ映像をタッチスクリーンに表示します。

 PP3010Tには急速冷凍機能と大気非暴露搬送機能があり、プレパレーションチャンバーには冷却割断機構と自動昇華、コーティング機能が備わっています。急速凍結された試料は、真空環境を維持したままSEM試料室内の冷却ステージに搬送され観察されます。冷却ステージの温度安定性は1℃以下(typ.)に保たれます。プレパレーションチャンバーとSEM試料室内には、最大-190℃まで冷却可能な冷却トラップ(アンチコンタミネーター)が備えられ、試料汚染を抑制します。

 

【試料ホルダー】

 PP3010Tには様々な試料に対応できるよう設計されたスタブとシャトルが付属します。また、オプションで加圧凍結を含む多種類の試料ホルダーがあります。

 

【試料のハンドリングおよび搬送】

 PP3010TのPrepdekワークステーションに試料を凍結/加工するスラッシュ窒素ポットがあり真空ポンプに接続されています。スラッシュ窒素による急速凍結方法で氷晶成長による試料ダメージを抑え良好に凍結できます。大きな凍結ポットは別の方法で凍結したり、保存されていた試料を液体窒素中で加工したり適したホルダーに載せることが可能で、それらを真空状態で準備室に搬送し加工や観察ができます。

 

dl_aicon_2 ※新しいウィンドウが開きます

 ▶ クライオ処理システム PP3010T PDF

 


 

Prepdekワークステーション

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▶拡大 [詳細はクリック]

 人間工学的に設計されたワークステーションです。全ての制御はワークステーション上の15inchタッチパネルPCからソフトウェア制御されます。ウィザード形式のオートスタートとマニュアルスタートの選択が可能で、冷却温度やガス流量を自動で制御します。PC制御により、スパッタコーティングや昇華のレシピ化、システムダイアログの表示、真空度・温度などのデータログ機能、リモート診断機能などが追加されました。高度なマスロー制御系をPredek下部のコンソールに収納し、デスク上には十分な作業スペースと、大きめの試料凍結ポット、トランスファーデバイスの予備排気/格納チューブ、シャトルマウント台などを備えます。
 
 クライオトランスファーデバイス

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クライオトランスファーデバイス,

シャトル/スタブインサート

 コンパクトなクライオトランスファーデバイスは片手で持てるサイズで扱い易くなっています。大気非暴露機構およびバネネットタイプのシャトル取付け機構によりクリーンな環境下で試料の移動が迅速です。クライオトランスファーデバイスはPredekに設けてある予備排気/格納チューブにコンパクトに収納できます。
 
 先進的なガス冷却プリパレーションチャンバー(試料前処理室)

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プリパレーションチャンバー

 プレパレーションチャンバーはSEM試料室のサービスポートに直付けされます。プレパレーションチャンバーはガス冷却ステージ、大型の冷却トラップ(アンチコンタミネーター)試料の割断機構、昇華のためのヒーター、スパッタコーターなどを備えます。
 
 
 効率的なガス冷却タイプ試料ステージと冷却トラップ

 プレパレーションチャンバーは窒素ガス冷却の試料ステージがあり、最大-190℃の温度を精密に制御します。試料上下の大型ガス冷却コールドトラップはプレパレーションチャンバーをクリーンで高真空に保持します。冷却ステージとトラップはユニークな床置きタイプのCHE3010冷却システムから供給された窒素冷却ガスで冷却します。

 
 見やすい前処理室とカメラ

 プレパレーションチャンバーは内部が見やすく設計されています。150×78mmの大きなフロントウィンドウと上部2ヶ所にビューポートを採用しています。LED照明とCCDカメラで試料冷却ステージ付近をコントロールスクリーンに映し出します。

 
 冷却割断ナイフ

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冷却割断ナイフ

 冷却割断ナイフと割断機構で様々な試料を冷却割断できます。フロントウィンドウに装着されたボールジョイントタイプのナイフは動きが自在であり表面加工や割断ができます。オプションとしてプレパレーションチャンバー上部取付けタイプでマイクロメータ付きの頑丈な冷却ナイフもあります。

 
 自動昇華/スパッタリング

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offカラムポンプシステム

 昇華温度と時間の設定/保存ができます。この工程は条件入力後、自動で行われ予測と実測の温度曲線がコントロールスクリーン上にグラフィカル表示されます。高分解能スパッタコーターでSEM像観察に不可欠な極微細グレインフィルムをコーティングすることができます。

 Ptターゲットが標準で付属しますが、オプションターゲットとしてAu、Au/Pd、CrおよびIrの用意もございます。その他のオプションとしてカーボンエバポレーターや自動停止機能付き膜厚計(FTM)も装着可能です。

 
 プレパレーションチャンバーと省エネ装置

 プレパレーションチャンバーは床置きの70L/Sのターボ分子ポンプおよびロータリーポンプで排気されます。使用時の前処理室内真空度は通常10-4Pa以下です。

 ターボポンプの設置場所をSEM本体から離し振動の影響を軽減しております。ターボポンプ後方に真空バッファータンクを組込みロータリーポンプは間欠運転しています。そうすることでロータリーポンプの運転時間は1時間の内、数分間程度となり熱、雑音、振動の発生を抑え省エネ効果も実現しました。

   
 冷却ステージと冷却トラップ(SEM試料室内)

 
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冷却ステージ

 安定した温度で優れた断熱性の窒素ガス冷却ステージはアダプタでSEMステージに取付けられます。冷却ステージや冷却トラップは独立した2系統のガス冷却ラインで冷やされ、熱応答性がよく最大-190℃です。

   
 CHE3010 offカラム -熱交換器および真空断熱ガス冷却システム

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oFFカラム冷却システム

 CHE3010はSEM本体から離れたところに設置されそこで冷却された-190℃以上の冷却窒素ガスはすべてPP3010の冷却用に使われます(SEM冷却ステージ、SEM冷却トラップ、プリパレーションチャンバーの冷却ステージと冷却トラップ等)。この真空断熱ガス冷却システムにより優れた冷却効率だけではなく冷却用デューワーの設置場所も柔軟になりました。

 


 

■主な仕様

 

 
 SEM内部接続

窒素ガス冷却ステージ:-190℃~100℃以下、温度安定性 <1℃窒素

窒素ガス冷却トラップ(アンチコンタミネーター):-190℃まで

  冷却システム

CHE3010真空断熱冷却システム、21Lガスクーリングシステム

※長時間連続運転が可能

 プレパレーションチャンバー

窒素ガス冷却ステージ;-190℃~100℃以下、温度安定性 <1℃

窒素ガス冷却トラップ:-190℃まで

マルチLED照明とCCDカメラ

冷却割断:加工ナイフ、マイクロメータ付ナイフ(オプション)

大型ウィンドウ(150x78mm)、上部ポート2ヶ所

高解像度スパッタコーター(Ptターゲット標準付属)

オプション:膜厚計、カーボンコーター

 プレパレーションチャンバー

 排気システム

床置ターボ排気システム

ベース真空:10-4Pa以下、5m3/hr以上のロータリーポンプ

 PCタイプタッチスクリーン

 コントロール

15inchPC

レシピ作成、保存

オンスクリーンのデータログ、自己診断機能

 Predekワークステーション

液体窒素スラッシュ、試料加工システム

(凍結剤試料の取り扱いに理想的)

試料前処理用スペース

トランスファーデバイス格納用真空引き機能

フレキシブルLEDライト、支柱

 排気装置 5m3/hr以上ロータリーポンプ

 

 

■オプション&アクセサリ ※要お問合せ

 ・5m3/hrロータリーポンプおよびオイルミストフィルタ

 ・液体窒素保管/気化用圧力容器(60L)

 ・フラットシャトル(22x13mm)

 ・デュアルクランプ付フラットシャトル(膜や硬い試料用)

 ・チルト、回転シャトル

 ・パルザーススタイルプランチェットシャトル(薄膜用)

 ・TEMグリッド(シールド付)

 ・フラットアルミスタブ

 ・フラット銅スタブ

 ・スクリュー固定タイプスタブ

 ・3x3mmスリット付銅スタブ

 ・1x3mmスリット付銅スタブ

 ・真鍮製リベット

(上記以外のクライオスタブもご用意できます)

・スパッタターゲット;Φ24mm Au, Au/Pd, Pt, Cr, Ir, その他

 

製品に関してのお問い合わせ
弊社では、各製品のカタログや資料をご用意しております。
デモ機在庫の有る製品も御座いますので、不明な点や価格的なご質問と共にお問い合わせよりご連絡下さい。
現在お客様の方で考えられているご使用目的、必要スペック、PC環境等を合わせてご連絡頂ければ該当する商品担当者よりご提案させて頂きます。 (お探しの商品が見付からない場合はお気軽にお問い合わせ下さい。)