Prober Shuttle(PS) [Shuttleシステム]

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「Prober Shuttle」(PS4)は、SEM式ナノプロービング用途向けに特化して開発されました。4インチサイズのShuttleプラットホーム上に、マニピュレータ(MM4-EM)が配置されています。マニピュレータは最大4台まで搭載可能で、Shuttleプラットホーム中央にサブステージ(XY軸,ピエゾ駆動)を追加することもできます。 「マイクロマニピュレータ」(MM3A-EM)ではオプション(Plug-inツール)となる微小電流測定キット(LCMK)が標準組込みされており、高感度測定が可能です。

 

 

ロードロック式SEM対応「Shuttleマウント」

通常の試料交換と同様の手順で、試料交換室にユニット本体をセットし、試料室に導入します。予め試料ステージ周りに配置したソケットコネクタにユニットが接続することで導通を取ります。試料交換室経由でユニットを着脱できるため、試料やプローブ針の交換の度に、試料室を開放する必要が無くなります。(Shuttleマウントはドローアウト式のSEMやFIBにも適用可能です。) kle_ps4
   

コンパクトサイズ

幅100mm x 高さ10mmと、非常にサイズが小さいため、開口の狭い試料交換室にも対応できます。また、より短いワーキングディスタンスで使用できるためSEMの分解能を損なうことがありません。 kle_ps2

SEM式ナノプロービングに最適化

 

仕様

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■ Prober SHUTTLE  本体

・ マニピュレータ 2 または、4台搭載 (オプション:XYピエゾステージ)

・ 取付け:SHUTTLE マウント (ロードロック経由)

・ サイズ:φ100mm x H10mm

■ マニピュレータ (MM4-EM)

・ 動作モード:Fine (微動) / Coase (粗動)

・ 動作軸:3軸 (A軸=左右 / B軸=上下 / C軸=伸縮)

・ 分解能 (Fine):A=0.25 nm / B=5nm / C=0.25nm

・ レンジ (Fine):A=1μm / B=10μm / C=1μm

・ レンジ(Coase):A=10mm / B=90° / C=5mm

・ ノイズ:2pA (p-p)

・ リーク電流:7pA@10V, 11pA@20V (真空内で測定)

・ 内部抵抗:2Ω

・ 最大入力電圧電流:100V, 100mA

・ 制御:コントローラ (フロントノブ)、ジョイパッド(オプション:iProbeソフトウェア)

 
 

アプリケーション例

     
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4端子測定(φ500nm ナノワイヤー) ナノプロービング(80nmコンタクト) 太陽電池 [左からSE, EBIC]
     
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180mmCMOS 吸収電流(RCI)[左からSE, RCI] TEG 吸収電流 [左からSE, SE+RCI] オペアンプ [左からSE, EBIC]

 

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