Qシリーズ卓上型コーティング装置

 

マグネトロンスパッタコーター/カーボンコーター

 

マグネトロンスパッタコーター →

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マルチユーザー環境に最適
マルチタスクに対応
Highスループット&Highクオリティ

卓上型コーティング装置「Qシリーズ」はラボ向けに開発された真空製膜装置で、DCマグネトロンスパッタリング(イオンスパッタ)と、
抵抗加熱によるカーボン蒸着が行えます。他にも、親水化処理・真空蒸着・アパーチャークリーニングなどの機能を拡張することも可能です。

 

電子顕微鏡やEPMAなどの電子ビームをプローブとする分析装置において、試料の帯電防止等を目的とした導電性コーティングに適しています。
生物試料や無機/有機化合物などの絶縁物に近い試料の観察や、大電流プローブを必要とするEPMAやEDXなどの元素分析にはほぼ不可欠といえます。
金属スパッタは試料の熱ダメージを低減し、二次電子放出率を高める効果もあります。

 

カーボン蒸着はカーボンの原子番号が小さいことから元素分析に用いられることが多く、また透過電子顕微鏡の観察手法の一つであるレプリカ法や、TEMグリッド メッシュのカーボン支持膜の作成などにも使用されます。
上述の用途では一般に数nm程度の薄い膜厚が求められますが、一方でFIB(Focus-Ion-Beam)やアトムプローブなどの用途において、
数十~数百nm程度の保護膜の形成にも使用できます。

 

電子顕微鏡関連の試料前処理用途以外にも、実験レベルでの薄膜や電極の形成などにも適しています。
Qシリーズコーターは、AuやPtなどの貴金属ターゲット以外にも、CrやNi, Al, W, ITOなどの酸化する金属ターゲットのスパッタリングも可能であることから、簡便に使える卓上サイズのスパッタ装置として、小~中規模実験室向けに重宝されます。
最上位機のQ300TDでは2元のターゲットを装着可能で、真空を保持したまま2種類の元素を連続して製膜することも可能です。

 

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 ▶ Qシリーズ卓上型コーティング装置カタログ

 ▶ Quorum社製スパッタコーター/カーボンコーター選定ガイド

 

 

 

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