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ローテーター (RT-STEM)

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 「ローテーター」(RT-STEM)は、回転(フリップ)軸を持ったスタンドアロン装置です。マニピュレータと併用することで、SEM/FIB内でのマニピュレーションの自由度を拡張します。
 RT-STEMの先端にはプローブ針やグリッドホルダなどを保持できます。Plug-inツールである「グリッパー」や「フォースメジャーシステム」のフォースセンサーなどを保持して、組合わせることも可能です。
 RT-STEMの先端に試料を保持して回転することで、試料の裏面観察や3次元STEM観察などが行えます。FIBで使用することで、TEM試料のバックサイドミリング,アトムプローブ試料作製などへの応用も可能です。

※RT-STEMは回転軸だけのため、一般的に、SEMのXYステージなどに設置して使用します。
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