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電子線硬化接着剤(SEMGLU)

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 「電子線硬化接着剤」(SEMGLU)は高真空対応の接着剤で、電子線を照射することで硬化します。イオンや熱では硬化せず、また低いビーム電流や低倍率観察時に硬化することもありません。電子線を局所的に絞って照射することでのみ硬化します。(ex.ビーム電流1nA@Magx50000で約1分)。接着力はエポキシペースの接着剤と同等です。約1㎣の液滴(SEMGLU)がピンスタブ試料台に乗せられて出荷されます。
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