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接触検知モジュール (STA)

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 「接触検知モジュール」(STA:Safe Tip Approach)は、プローブ針先端が試料表面にコンタクトすることをより簡単にし、マニピュレータの操作性を向上します。
 STAはプローブ針と試料の間に任意のバイアス電圧を印加します。プローブ針を試料表面にアプローチさせる間、STAはプローブ針-試料間の電流をモニタし続け、設定した閾値電流以上が流れると自動的にマニピュレータの動作をロックします。これにより、試料およびプローブ先端をダメージ無しで接触させることができます。
 またSTAはプローブ針と試料間の接触抵抗を知ることにも有効です。

 

 

 

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