卓上型プラズマクリーナー

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 ラボ向けAll in one マルチユース対応。Tergeoプラズマクリーナーは、2つのプラズマソースを内蔵し、用途に応じてクリーニングモードを切り替えることが出来ます。このため「エッチング」や「アッシング」、「表面洗浄」、「表面改質」といった、一般にラボで要求されるあらゆるプラズマ処理に、Tergeo1台で対応することが可能です。Tergeoがあれば、プラズマ処理のために複数台の装置を用意する必要はありません。

Tergeo(テルジオ)-EM

 

 

フレキシブルなフロントドア構造

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フロントドアはバヨネット式で簡単に着脱が可能です。
試料などクリーニング対象物は、スライドトレイに乗せてチャンバー内にセットされます。


TEM用途の場合、フロントドアのロッドアダプタ(最大2本まで)にTEMホルダを挿入します。
ロッドアダプタは付替えが可能です。

 

マスフローコントローラ

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2系統(オプションで1系統増設)のマスフローコントローラで、プロセスガスの流量制御を行います。


Vent/Pumpは、別系統のソレノイドバルブで制御します。

 

秀逸なユーザーI/Fデザイン

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3つのクリーニングモード(Dualプラズマソース)

高速クリーニング 低ダメージ

Immersionモード

Downstreamモード

プラズマを試料室「内」で発生させます。
プラズマ空間の中に浸された試料は、ラジカルと化学反応を起こすと同時に、スパッタリングされます。

フォトレジストのアッシングや試料エッチング、PDMS表面改質など、積極的で早いクリーニングレートが要求される用途に適しています。


(参考) Immersion=浸漬。一般に「プラズマクリーナー」と称する装置はImmersionモードであることが多いです。

 

プラズマを試料室「外」で発生させます。
プラズマ発生室と試料室を分離することで、試料はスパッタリングされること無く、マイルドな化学反応のみによってクリーニングされます。

熱や静電気放電に弱いデバイスや、TEM試料, カーボン支持膜付きTEMグリッド、窒化シリコン膜などの繊細で脆い試料、薄膜コートされた光学デバイスなど、ダメージレスでマイルドにクリーニングしたい用途に適しています。

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極低ダメージ

Pulseモード

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低デューティーサイクルのPulseモードは平均的なプラズマ強度を著しく減少させることで、極繊細な試料へのクリーニング適応を可能にします。


RF出力を変えるか、デューティーサイクルを変えることで、プラズマ強度を調整出来ます。

 

 

製品ラインナップ

tergeo-em.jpg Tergeo(テルジオ)-EM

 電子顕微鏡用途向け。TEM試料ホルダを2本装着可能。

 フロントドアの取外しが可能で、
 バルク試料のクリーニングには100x250mmの試料トレイを挿入可能。

 繊細な試料向けにPulseモード(極低ダメージ)を搭載。

tergeo-basic Tergeo-Basic

 低価格エントリーモデル。多くの一般的なアプリケーションに適応可能。


 ※Pulseモード(極低ダメージ)はありません。TEMユーザーにはTergeo-EMがお勧めです。

tergeo-plus Tergeo-Plus

 Basicのラージチャンバーモデル。

 

製品仕様

 プラズマ方式  Down-streamモード: ICP(Induced Couppled Plasma)[誘導結合型]
 Imersionモード: CCP(Capacitively Coupled Plasma)[容量結合型]
 RF出力  0~75W at 13.56MHz (オプション: 0~100W)
 試料チャンバー  円筒形状 石英ガラス
 内径110 x 奥行き 280(mm) [ Tergeo-Basic, -EM]
 内径160 x 奥行き 280(mm) [ Tergeo-Plus]
 外部ガス入力  2系統(オプション 1系統追加)、1/4” Swagelok
 真空計  マイクロピラニゲージ内蔵、大気~1e-4Torr
 真空ポンプ  オプション
 ・推奨スクロールポンプ1)  モーター定格300W
 60Hz: 排気速度 152L/m、到達圧力 20mTorr
 50Hz: 排気速度 120L/m、到達圧力 30mTorr
 ・推奨スクロールポンプ2)   モーター定格120W
 60Hz: 排気速度 60L/m、到達圧力 0.25Torr
 50Hz: 排気速度 50L/m、到達圧力 0.25Torr
 電源  110~230VAC, 50/60Hz, 100W以下

 

製品に関してのお問い合わせ
弊社では、各製品のカタログや資料をご用意しております。
デモ機在庫の有る製品も御座いますので、不明な点や価格的なご質問と共にお問い合わせよりご連絡下さい。
現在お客様の方で考えられているご使用目的、必要スペック、PC環境等を合わせてご連絡頂ければ該当する商品担当者よりご提案させて頂きます。 (お探しの商品が見付からない場合はお気軽にお問い合わせ下さい。)